邱国光（），邱国光授予中国人民解放军少将。邱国光中国人民解放军开国少将。邱国光 参考 中国人民解放军开国少将 中国共产党第九届中央委员会委员 二级八一勋章获得者 二级独立自由勋章获得者 一级解放勋章获得者邱国光
本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。
同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。
二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。
2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：
后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：
背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：
先进逻辑芯片制造
中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造（2024-2025 年）
外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
" alt="DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用">DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用
圣蒂贝里
勒捷
多马兰
9月25日，杭州亚运会将产生38枚金牌。游泳赛场精彩继续，覃海洋、叶诗文、徐嘉余等游泳名将轮番登场；体操赛场同样值得关注，期待中国体操女团冲金成功。这些看点不容错过。
看点1：中国体操女团剑指冠军 48岁丘索维金娜再战亚运
9月25日，亚运会竞技体操女子资格赛暨团体决赛将拉开帷幕，竞技体操是中国代表团亚运冲金的传统优势项目，女队在亚洲的领军地位也一直十分稳固，已经实现女团12连冠。
本届亚运会虽然主场作战，但中国女子体操队面临的挑战却并不小，特别是最大对手日本队将对中国女团发起强有力的冲击。竞技体操女子资格赛暨团体决赛将于19:30开始，代表中国女团出战的章瑾、唐茜靖、虞琳敏、张欣怡、左彤将目标锁定为冠军。
同样值得关注的还有被中国网友亲切称为“丘妈”的乌兹别克斯坦体操运动员丘索维金娜，已经年满48岁的她，再次复出来到杭州亚运会。“我还没能为祖国乌兹别克斯坦拿到一枚（重要赛事的）奖牌，我不能就这样结束我的体操生涯。”
唯有热爱，可抵岁月漫长！这次杭州亚运会，她将取得怎样的成绩？让我们一起拭目以待。
看点2：游泳赛场精彩继续，覃海洋能否顺利拿下个人首金
9月25日，游泳项目将产生7枚金牌。覃海洋在男子100米蛙泳、徐嘉余在男子50米仰泳、万乐天和汪雪儿在女子50米仰泳、余依婷和叶诗文在女子200米个人混合泳上具备夺金实力。
覃海洋在24日晚的比赛中不敌队友汪顺，夺得男子200米混合泳亚军。他能否在游泳赛事第二日顺利拿下个人首金，备受关注。
中国香港名将何诗蓓在女子200米自由泳上有较强的实力；男子4×200米自由泳接力将是一场龙虎大战。
看点3：射击项目产生多金，男子10米气步枪、男子手枪速射值得关注
9月25日，射击项目将产生6枚金牌。其中男子10米气步枪、男子手枪速射项目中国队高手云集，盛李豪、余浩楠、杜林澍及在世锦赛25米手枪速射项目上创造世界纪录的老将李越宏将为观众奉献精彩表演。
看点4：团体半决赛开战！期待国乒男女队继续乘风破浪
9月24日，中国队选手马龙在比赛中回球。
9月25日，亚运会乒乓球项目将展开男女团体半决赛较量。
11:00，中国乒乓球女队将在半决赛与泰国队交锋，后者在四分之一决赛中以3比2险胜朝鲜队，另外一场半决赛将由韩国对阵日本。18:30，中国乒乓球男队将在半决赛中对阵中国台北，另外一场半决赛将在韩国与伊朗之间进行。值得一提的是，伊朗男乒在四分之一决赛中爆冷以3比0击败了日本队。这批黑马能否继续取得突破，我们拭目以待！
期待国乒将士披荆斩棘，晋级决赛！
资料来源：杭州亚运会官网、新华网、中国体育报、中国奥林匹克委员会微博、光明网、都市快报、新京报等，具体比赛情况以实际为准。
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萨蒂拉尔格
圣马夏尔 (吉伦特省)
圣德雷泽里
欧露丝太空舱床垫商学院“太空科技助眠计划” 全国巡回培训
圣伊莱尔德朗德
索莫斯
圣塞格兰
品牌代表品质，用品质赢得一片掌声
福美珈的产品定位中高端，研发、设计与生产工艺标准远高于行业标准，旨在成为世界中高端橱柜。公司旗下的橱柜品牌更是列入中国名优橱柜品牌行列中，福美珈以自身最强的实力和值得信懒的品质赢得行业的好评。
记者在采访福美珈公司相关负责人时，该品牌的负责人说得最多的一句就是“好品牌源于有好品质”。福美珈非常注重消费者对品牌的肯定度与认可，为此，更是花大血本来生产。从原料采购到生产设备，再到专业人员的配备，无不以优质为前提。在福美珈品牌经营下带给消费者的是高品质的保障，特别是福美珈推出引领时尚品质生活品质的新时代橱柜产品，更是极大地满足了消费者对于新生活的要求。福美珈品牌带来的品质效应，赢得了市场的一片掌声，同时也收获不少忠实的消费者。
据了解，福美珈橱柜在市场上的反应强烈。刚刚过去的双11，各地实体店整体销售更是呈直线上线，店内的工作人员还一度忙不过来。
由店内火爆的销售情况，我们就不难看出来，福美珈橱柜品牌好，口碑佳，消费者拥护程度也很高。
实力雄厚，见证一代环保橱柜新标杆
据调查了解，福美珈作为中国十大橱柜品牌本身的产品质量已经深得市场肯定，现代化的生产设备与精良的管理让福美珈赢得众多消费者的信赖。作为福美珈的忠实客户，林先生告诉记者，看到福美珈在央视与湖南卫视两大主流媒体上展播，感受到了不仅是福美珈产品的可信懒，更是对福美珈实力的惊叹。
对于福美珈此次向媒体联合展播，充会显现出企业的品牌雄厚的实力，同时也体现出企业品牌文化和市场战略的完胜性。用实力和品质说话，用实力向消费者展现品牌的强大，这就是中国十大环保橱柜福美珈的特色。
福美珈橱柜用品牌实力+优质产品，赢得了行业一次次的肯定。同时加上大力广告宣传轮播展现，为品牌赢得美誉度作铺垫。
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当下家居消费迈入升级阶段，消费者选购板材已不再单纯比价，环保标准、生产工艺、品牌信誉与服务保障成为核心考量。这一趋势下，板材企业唯有坚守品质底线、践行诚信经营，才能在市场中站稳脚跟。百强板材精准把握消费需求变革，始终聚焦高端环保板材赛道，将消费者居家健康置于首位，拒绝虚假宣传、摒弃粗放生产，以全流程严苛管控打造品牌核心竞争力。
品质是品牌的立身之本，百强板材始终秉持严谨的生产理念，从原料甄选到成品出厂实施全链条把控。品牌严选优质木材原料，采用先进生产工艺与环保胶粘剂，历经多道核心工序打磨，每一块板材均通过国家权威机构环保与品质检测，以达标性能为消费者提供安心保障。在环保层面，百强板材核心产品契合行业严苛环保要求，从源头减少有害物质残留，契合家庭装修的健康需求，这也是品牌经受住市场长期检验的核心底气。
业无信不兴，百强板材始终坚守诚信经营底线，严格遵守行业规范与消费者权益保护相关规定，坚持合法合规运营，杜绝质量欺诈、虚假宣传等行为。同时，品牌依托完善的生产与服务体系，保障产品供应稳定，同时搭建高效售后响应机制，及时处理消费者诉求，切实维护消费者合法权益。凭借稳定的品质与良好的信誉，百强板材收获了广大消费者的认可与信赖，在终端市场树立了诚信经营的品牌形象。
315是检验，更是常态坚守。百强板材深知，品质与诚信并非节日限定，而是贯穿365天的品牌坚守。未来，品牌将持续精进生产工艺、深耕环保技术研发，以更高标准要求自身，用匠心打造优质板材，用诚信守护每一份居家信赖，做经得起消费者检验的放心板材品牌。
来源：品牌之家 了解更多 百强板材品牌信息>>>" alt="坚守诚信底色 百强板材以硬核实力迎战 315 大考">坚守诚信底色 百强板材以硬核实力迎战 315 大考卡尔德罗克
空气里，满是香甜的味道，糖人、糖画、棉花糖，一样样甜蜜蜜，那是迎接母亲节的味道。
母亲节来临之际，5月8日上午，“红五月·梦豫园”——“妈妈集市”义卖活动就在豫园商城黄金广场开张了。
图说：“妈妈集市”吸引了许多市民游客 记者 周馨/摄（下同）
一早，参与义卖的摊位就纷纷到场了。爱心商家们纷纷拿出招牌热卖商品，文创产品、精美首饰、非遗扇子灯笼、绒线花艺术品……还有，来自巾帼文明岗—黄浦香山中医医院团总支的中药扎染，看得人眼花缭乱，低廉的价格、优良的品质，吸引市民游客纷纷解囊，活动现场暖意涌动。
公益互动区，吹糖人、糖画、棉花糖等非遗项目，引来市民游客驻足观看，这可是“妈妈集市”最受小朋友们喜爱的保留节目。
糖锅里，麦芽糖和冰糖一点点融化，金黄色的糖稀香甜浓稠，80后王晓凤和85后王磊是姐弟俩，也都是吹糖人非遗项目传承人，现场展示了吹糖人技艺。挑起糖稀，轻轻吹一吹捏一捏，一只小海豚！再吹一个，宝葫芦！还要一个，哇，小朋友们最喜欢的小兔子！
精湛技艺，看得市民游客纷纷喝彩，甜蜜蜜的糖人糖画带回家，就当“母亲节”的礼物献给妈妈！
“一个亮点是，今年的‘妈妈集市’既有爱心商户参与，又联动了黄浦区历届三八红旗手、巾帼建功标兵等先进女性。”黄浦区妇联主席王艳说。“妈妈集市”丰富义卖商品，扩大爱心半径，凝聚起更多“她”力量。今天，“妈妈集市”还推出了“黄浦妈妈讲故事”的项目，上海和普洱两地帮扶结对，为普洱留守儿童带去母爱的温暖和故事的陪伴。
“红五月·梦豫园”主题活动始于2016年。“多年来，广大爱心商户不改公益初心，延续爱心传统，定向资助社区困难妇女和儿童，已累计向40名困难妇女（儿童）发放帮扶款3万元，为母亲节和国际家庭日增添了温馨与感动。”豫园街道党工委书记邵泉说。“妈妈集市”是豫园商圈党建联建的生动实践，吸引来自全国和世界各地的游客，努力成为申城家庭文明、妇女儿童友好的展示窗口。
记者 姚丽萍
圣庞斯德莫希安
